对于净化厂房装修、洁净室设计、实验室装修设计等要求较高的场所,施工设计均会牵涉到净化空调系统。净化系统对风管、空调部件、设备等的洁净度和严密性要求较高,施工中,每一个施工工艺的质量必须达到净化空调的要求。同时还要加强施工全过程的质量控制,确保系统调试运行一次成功,顺利完成竣工验收工作。
一、加工环境要求高,对风管的制作场地要求封闭、清洁、采光、照明好,制作现场应整洁,加工区域内应铺设表面无腐蚀、不产尘、不积尘的柔性材料。加工区域要经常打扫,及时清理垃圾,操作人员的制服、手套必须清洁,不许穿鞋踏上下料板材。
二、对材质进行检验。风管板材厚度应按设计工作压力并结合规范要求选用,所用材料必须有产品合格证明。镀锌钢板应为镀锌板,外观上无氧化物和麻点、起皮、白花、锌层粉化等缺陷。
(1)、清洁洁净室内的墙时应使用洁净室无尘布;
(2)、用90%去离子水和10%的配置清洁剂;
(3)、使用已获批准的洁净室去污剂;
(4)、每天都要检查车间和整备间的垃圾箱,并及时清走。
(5)、每块地板都要吸尘。每次交接班时,都应在地图上标明工作完成情况,例如在哪结束从哪开始。
(6)、清洁洁净室的地面应使用拖把。
(7)、在洁净室里吸尘应使用带有过滤器的真空吸尘器。
(8)、所有的门都需要检查并擦干
(9)、吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。
(10)、架空地板下也要吸尘及擦拭。
(11)、三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。
(12)、工作时一定要记住,永远是由上往下擦,从离门远的地方向门的方向擦。
净化车间之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触的大气的洁净度以及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为净化车间。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的影响,所以在光学构造产品的生产上,净化车间无尘是必然的要求。
每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。5μm及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。